更新時間:2024-07-02
LS單片晶圓清洗中空軸電機APM-HB07HCH-WN01晶圓容易吸附潮氣到表面.光刻膠黏附要求要嚴格的干燥表面,所以在涂膠之前要進行脫水烘培和黏附劑的涂覆.有時要用到黏附劑,黏附劑通常使用HMDS(六甲基二硅胺脘),表面處理的主要作用是提高光刻膠與襯底之間的粘附力,使之在顯影過程中光刻膠不會被液態顯液滲透.
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LS單片晶圓清洗中空軸電機APM-HB07HCH-WN01
一、Spinner Motor中空軸電機的特點
1、中空軸高速電機結構:額定轉速:5000rpm,最大轉速6000-8000rpm
2、超快的加速/減速時間;
3、低噪音、低震動、軸端跳動系數低至;
4、軸孔采用真空空心軸設計,軸端的設計,確保chunk運行平穩
5、電機功率:750W,采
12寸勻膠清洗APM-HB07HCH-WN01中空
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